干式真空泵運(yùn)行期間出現(xiàn)噪音，干式真空泵位置不正確，需要調(diào)整。在工作過程中，更多的大顆粒進(jìn)入干式真空泵腔，造成磨損和噪音。啟動(dòng)時(shí)的設(shè)定壓力可能過高，不會(huì)導(dǎo)致真空泵部件過熱和損壞。
 

　　液體的突然侵入會(huì)導(dǎo)致干式真空泵損壞，因?yàn)樵诳焖倮鋮s的情況下，氣體無法達(dá)到蒸發(fā)液體所需的溫度，蒸汽無法及時(shí)從泵中逸出。針對(duì)這種情況，在處理室和干式真空泵之間需要一個(gè)接收器來吸收進(jìn)入泵的液體，以防止損壞干式真空泵。
 

　　干式真空泵的常見故障及維修方法：
 

　　1、干式真空泵運(yùn)行過程中有噪音，干式真空泵位置不正確，需要調(diào)整。在工作過程中，更多的大顆粒進(jìn)入干式真空泵腔，造成磨損和噪音。啟動(dòng)時(shí)的設(shè)定壓力可能過高，不會(huì)導(dǎo)致真空泵部件過熱和損壞。
 

　　2、液體的突然入侵會(huì)導(dǎo)致干真空泵的損壞，因?yàn)樵诳焖倮鋮s的情況下，氣體不能達(dá)到蒸發(fā)液體所需的溫度，蒸汽不能及時(shí)從泵中逸出。鑒于這種情況，處理室和干真空泵之間需要一個(gè)接收器來吸收進(jìn)入泵的液體，以防止干真空泵的損壞。
 

　　3、在粉塵顆?；蚍蹓m過程中，可在真空泵入口處安裝粉塵過濾器，保護(hù)干式真空泵和下游泵。
 

　　4、干式真空泵需要全音量運(yùn)行。與旋轉(zhuǎn)真空泵相比，沒有壓縮排氣壓力的內(nèi)部壓縮功能。所有與介質(zhì)接觸的零件均無油，所有適用于干式真空泵的零件仍適用于干式真空泵。結(jié)構(gòu)緊湊，泵運(yùn)行速度快。